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FF160/500G型复合分子泵技术性能：
产品型号 | FF160/500G | |
进气口法兰 | DN160CF | DN160LF |
极限压强（Pa） | 6×10-7 | 6×10-6 |
抽气速率(L/S) | 450 | |
压缩比 N2 H2 | ＞109 6×103 | |
振动值(mm) | £0.1 | |
排气口法兰 | KF40 | |
建议前级泵（L/S） | 4-8 | |
启动时间（min） | ＜5 | |
额定工作转数（rpm） | 27000 | |
冷却方式 | 水冷 | |
安装方式 | 垂直±5° | |
重量(Kg) | 27 | |
