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涡轮分子泵组

来源:欧赛普    发布时间:2021-05-21    浏览次数:885

概述

T-Station 75 是 Edwards 新推出的入门级涡轮泵系统。它包括我们经过实践检验的 EXT75DX,搭配油封的 E2M1.5 前级泵或 XDD1 隔膜泵,适用于需要完全干燥的应用。
T-Station 使用新的 TAG(Turbo 和有源真空计)控制器作为标准配置,可实现系统通过单按钮启动/停止、可控制其中一个有源真空计*、排气阀控制*以及在真空计读数匹配时延时或降压启动,因此 T-Station 非常适合一般的实验室需求。
* 真空计和 TAV5 排气阀必须单独购买。
 

应用

  • 一般实验室应用
  • 光谱学
  • 表面分析
  • 小型镀膜系统
  • 真空涡轮制造

技术数据

N2 抽速 
NW4042 ls-1
ISO63/CF6361 ls-1
N2 压缩比>1 x 1011
50Hz 时的前级泵速度 
E2M1.51.6 m3h-1
XDD11.2 m3h-1
极限压力<5 x 10-8 mbar
进气口法兰NW40、ISO63 或 CF63
排气口法兰 
E2M1.511mm OD 喷嘴或 3/8 英寸 BSP
XDD1装配消音器或 1/8 英寸 BSP
重量 
E2M1.522 kg / 48 lb
XDD118 kg/40 lb
噪音级别55.4 dB(A)
密封性<1 x 10-6 mbar ls-1
工作温度范围10 至 40°C/50 至 104°F