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超高真空STP 泵

来源:欧赛普    发布时间:2021-05-21    浏览次数:858
概述
Edwards STP系列磁悬浮涡轮分子泵用于电子显微镜和半导体应用。Edwards的转子技术可实现一流的性能,最大的制程灵活性。STP301已经由科学仪器、半导体和磁介质行业的大型设备制造商投入使用,并得到了认可。
 
此STP 泵在供货时带有入口筛网。
 
如需完整安装,请订购一台STP 泵、一个控制器、一根连接电缆和一根电源电缆。
 
技术参数


STP301

STP603

STP1003C

入口法兰

ISO100,CF100

ISO160F

ISO200F

出口

KF25

KF40

KF40

抽速




  N2

300 ls-1

650 ls-1

1000 ls-1

  H2

300 ls-1

550 ls-1

800 ls-1

压缩比




  N2

>108

>108

>108

  H2

>2 x 104

>105

>105

加热时的极限压力(VG/ISO 法兰)

6.5 x 10-6 Pa (5 x 10-8Torr)

6.5 x 10-6 Pa (5 x 10-8Torr)

10-7 Pa (10-9 Torr)

加热时的极限压力(ICF 法兰)

10-8 Pa (10-10 Torr)

10-7 Pa (10-9 Torr)

10-8 Pa (10-10 Torr)

最大连续出口压力(环境空气冷却)

13 Pa (0.1 Torr)

13 Pa (0.1 Torr)

13 Pa (0.1 Torr)

额定速度

48000 rpm

35000 rpm

35000 rpm

启动时间

3 min

6 分钟

6 分钟

最高入口法兰温度

120 °C

120 °C

120 °C

输入电压

100 至 120 (± 10%) V 交流或200 至 240 (± 10%) V 交流

100 至 120 (± 10) V 交流或200 至 240 (± 10) V 交流

100 至 120 (± 10) V 交流或至 240 (± 10) V 交流

启动时的功耗

0.55 kVA

0.8 kVA

0.8 kVA

泵重量

11 kg

31 kg

31 kg

控制器重量

7 kg

9 kg

9 kg